XGTP, Vanne à guillotine à joint parallèle

Série XGTP fente fonctions de valve de portail entre les chambres de matériel semi-conducteur. positions typiques incluent entre la chambre de transfert et la chambre de sas de chargement ou de transfert et les chambres de traitement. Le XGTP a été conçu pour faciliter la maintenance, y compris l'accès facile à remplacer le soufflet de l'actionneur ou la porte. Faible génération de particules et un cycle de 3 millions de survie sevice productivité élevée des outils semi-conducteurs.

  • Grande durée de vie: 3 million cycles.
  • Faible génération de particules: Réduction de 1/5 min.
  • Soufflet remplaçable.
  • Verrouillage mécanique d'extrémité.
  • Réduction de la consommation d'air de 22%.
XGTP, Vanne à guillotine à joint parallèle
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Sélectionnez les valeurs dans la liste déroulante afin de configurer la référence.
Type de distributeur Configuration Status
Matériau du joint torique Configuration Status
Détecteur et Connecteur Configuration Status
Verrouillage de tige Configuration Status
Les options en :
  • Gris ne sont pas compatibles avec l'une des valeurs sélectionnées.
  • Rouge sont en conflit avec l'une des valeurs sélectionnées pour les options.
  • Orange ne sont pas recommandées.

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