Produits de haute vide
Les chambres à vide sont généralement utilisées dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. L'équipement périphérique utilisé pour évacuer l'air de la pression atmosphérique d'alimentation vers la chambre à vide, comme les vannes, les pressostats, les cylindres et les vannes d'arrêt, doit répondre à des conditions telles que l'absence de fuite, les spécifications propres et la résistance à la corrosion. Les produits à vide poussé de SMC répondent à ces exigences.
Angle et Vannes en ligne
Les vannes à angle de vide élevé et les vannes en ligne & nbsp; sont destinées aux applications industrielles utilisant un vide poussé et des gaz de process. & nbsp; Les industries courantes qui peuvent utiliser ces vannes d'équerre incluent la production de semi-conducteurs, d'énergie solaire et d'autres produits électroniques, ainsi que la fabrication alimentaire et pharmaceutique. & nbsp; & nbsp;
fendus Vannes
La vanne à fente de la série XGT convient à la vanne de séparation entre le sas de charge et la chambre de transfert, et entre la chambre de transfert et la chambre de traitement dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs, etc.
Vent lisse
Les vannes de ventilation lisses sont des vannes de type normalement fermées avec des types de connexion VCR (mâle et femelle) et Swagelok. La taille de l'orifice pour l'alimentation principale est de 1/4 "et l'orifice est de 3 mm. Les matériaux se composent de SUS316L (corps et soufflet), SUS304 (diaphragme) et FKM (valve et joint externe).
Electrovanne
La série XSA est une électrovanne normalement fermée adaptée à l'air ou au gaz inerte dans les applications à vide poussé. & nbsp; Cette vanne fonctionne correctement à une pression de service aussi basse que 1x10 -6 & nbsp; Pa (absolu). & Nbsp; Les options de joint facial et de raccords à compression offrent des niveaux extrêmement faibles de fuites internes et externes. & Nbsp; Deux options de tension CC et huit options de tension CA sont disponibles, associées à plusieurs styles d'entrée électrique.