XL
Les vannes à angle de vide élevé de la série XL offrent une excellente conductivité thermique, une température uniforme pour tout le corps de la vanne et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et un faible rendement de pulvérisation permet également de minimiser la contamination par les métaux lourds des plaquettes semi-conductrices.
XL *, à vide élevé Angle Valve, Air Operated
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- Léger et compact
- Température de surface uniforme
- Grande résistance du FKM
- Faible dégazage
- Faible pollution par les métaux lourds
XLA, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Normally Closed/Bellows Seal
Tailored for long and narrow workpieces with adsorption surface limitations- Pad sizes: 30 x 60, 40 x 80, 55 x 110
- Non-slip special ribs
- Material: FS61 (Fluoro-based rubber)
- Pad hardness (Shore A: ±5°): 60º
- Surface operating temperature range: 0 to 200 ºC
- Adapter & buffer operating temperature range: 0 to 150 ºC
- Mesh filter opening: 250 μm
- Options: male and female thread and square vertical vacuum inlet.
- Buffer stroke: 10, 30, 50 mm.
XLAV, Aluminum High Vacuum Angle Valves, Air Operated w/Solenoid Valve
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
- Excellent thermal conductivity offers uniform temperature and decreased gas condensation inside valve
- High corrosion resistance to fluorine gas
- Minimal outgassing
- Minimal contamination from heavy metals
- Optional heaters
- Optional position sensors
- Optional oxalic acid anodizing for internals
XL * V, à vide élevé angle Vannes, pneumatique à w / Electrovanne
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- Léger et compact
- Température de surface uniforme
- Grande résistance du FKM
- Faible dégazage
- Faible pollution par les métaux lourds
XLS, à vide élevé Angle Valve, type électromagnétique, balance Soufflet
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- Les particules sont réduites car il n'y a pas de pièces métalliques mobiles
- Le mécanisme d'équilibre de la pression permet un sens d'échappement libre
- Peut être utilisé pour un équipement portable car le système pneumatique n'est pas requis
- Le circuit d'alimentation du contrôle du pilote de l'électrovanne est en standard
XLG, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Double Acting, O-ring Seal
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
- Air pressure applied to pilot port shifts piston-coupled valve
- Numerous maintenance parts available to extend useful life of valve
- Standard FKM seals, plus 8 additional seal compound options
- Auto switches mountable from 4 directions
- Optional 100°C and 150°C heaters (UL compliant lead wire)
XLH, manuel à vide élevé Angle Valve, joint à soufflet
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Vanne coudée pour vide élevé
- Type : manuel, joint de soufflet de protection
- Taille de la bride : 16 ~ 50
- Détection thermique : H1 (80°C), H2 (100°C), H3 (120°C)
- Non compatible avec les détecteurs
XLF, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Normally Closed, O-ring Seal
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
XLF is a normally closed, single acting high vacuum angle valve with an O-ring shaft seal. The XL*-2 family shares common features with all series members. Bodies are made of aluminum for light weight and excellent thermal conductivity, resulting in a uniform temperature for the entire valve body. The body offers excellent resistance to fluorine corrosion. A low sputtering yield and the absence of heavy metals avoid wafer contamination.
XLFV, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Normally Closed, O-ring Seal with Solenoid Valve
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
- Excellent thermal conductivity offers uniform temperature and decreased gas condensation inside valve
- High corrosion resistance to fluorine gas
- Minimal outgassing
- Minimal contamination from heavy metals
- Optional heaters
- Optional position sensors
- Optional oxalic acid anodizing for internals
XLC, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Double Acting, Bellows Seal
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
XL * Q, à vide élevé Angle Valve, Aluminium monotouche Connection & Release
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- Connexion et relâchement instantanés, ne nécessite aucun outil
- Léger et compact
- Fonction de commutation automatique
- XLAQ: joint à soufflet à simple effet, normalement fermé
- XLAQ: les tailles de bride sont 16, 25, 40, 50
- XLDQ: contrôle en 2 temps, simple effet
- XLDQ: les tailles des brides sont 40, 50
XLJ, Vide Angle Valve w / sortie Valve
XLJ est une série de libération limitée appariement d'un robinet d'équerre à vide avec une vanne de libération. La soupape de décharge permet à la pression atmosphérique d'entrer dans le système entre la pompe et la vanne rotative à vide. Cela empêche l'écoulement d'huile indésirable inverse à travers la pompe. La vanne de vide est un type normalement fermé avec un pilote de vide et de l'arbre de joint torique. Deux tailles brides sont disponibles avec 8 options de tension. XLJ est marqué CE.
- Compatible avec des gaz inertes
- tailles de brides: 25 et 40
- plage de pression de fonctionnement: atmosphérique à 0,01 Pa
- Température de fonctionnement: 5- 40 ° C
- options de tension: (100, 110, 200, 220, 230, 240) ACC; (12, 24) VDC