XL
Les vannes à angle de vide élevé de la série XL offrent une excellente conductivité thermique, une température uniforme pour tout le corps de la vanne et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et un faible rendement de pulvérisation permet également de minimiser la contamination par les métaux lourds des plaquettes semi-conductrices.
XLA, Angle Aluminium à vide élevé Valve, Normalement fermé / Joint Soufflet
Série XLA-2 sont des vannes d'angle de vide élevé pour une utilisation dans des applications industrielles utilisant des gaz de vide élevé et de processus. industries communes qui peuvent utiliser ces valves d'angle comprennent semi-conducteurs, la production solaire et d'autres electonics, ainsi que l'industrie alimentaire et pharmaceutique. valves XLA-2 sont à simple effet, normalement fermé, avec un soufflet d'étanchéité sur l'arbre et le ressort. Le vavle ouvre lorsque la pression est appliquée au port pilote. Le soufflet peut être remplacé, ce qui réduit les coûts d'entretien et de déchets. Le corps de valve est en aluminium anodisé dur A6063, avec 304 soupapes en acier inoxydable et soufflets. De nombreux matériaux d'étanchéité sont disponibles pour une large gamme de compatibilité chmical.
- Simple effet, Joint de soufflet de protection.
- Corps en aluminium.
- Temperature uniforme sur l'ensemble du corps.
- Dégazage minimal.
- Haute résist. à la corrosion aux gaz fluorés.
- Léger , compact.
- Contamination minimale des métaux lourds.
XL * V-2, Aluminium High Vacuum Angle Valves, Pneumatiques w / Electrovanne
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- Simple effet, Joint de soufflet de protection.
- Corps en aluminium.
- Temperature uniforme sur l'ensemble du corps.
- Dégazage minimal.
- Haute résist. à la corrosion aux gaz fluorés.
- Léger , compact.
- Contamination minimale des métaux lourds.
TGR, Aluminium à vide élevé Angle Valve, double effet, joint torique Joint
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- La pression d'air appliquée à la vanne couplée à piston de décalages de port pilote
- De nombreuses pièces d'entretien disponible pour prolonger la vie utile de la vanne
- joints standard FKM, plus 8 composé d'étanchéité supplémentaire Options
- bascule automatique pouvant être monté à partir de 4 directions
- facultatif 100 ° C et 150 ° C (appareils de chauffage de fil de plomb conforme UL)
XL *, à vide élevé Angle Valve, Air Operated
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- Léger et compact
- Température de surface uniforme
- Grande résistance du FKM
- Faible dégazage
- Faible pollution par les métaux lourds
XL * V, à vide élevé angle Vannes, pneumatique à w / Electrovanne
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- Léger et compact
- Température de surface uniforme
- Grande résistance du FKM
- Faible dégazage
- Faible pollution par les métaux lourds
XLF, Aluminium à vide élevé Angle Valve, normalement fermé, le joint torique Joint
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- La pression d'air appliquée à l'orifice pilote déplace la valve couplée par piston < li> Les soufflets remplaçables réduisent les coûts de maintenance et les déchets
- Pièces de maintenance supplémentaires disponibles pour prolonger la durée de vie utile de la vanne
- Joints FKM standard, plus 8 options de composés d'étanchéité supplémentaires
- Interrupteurs automatiques montables dans 4 directions
- Réchauffeurs 100 ° C et 150 ° C en option (fil conducteur conforme UL)
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XLFV, Aluminium High Vacuum Angle Valve, normalement fermé, le joint torique avec Seal Electrovanne
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- Simple effet, Joint de soufflet de protection.
- Corps en aluminium.
- Temperature uniforme sur l'ensemble du corps.
- Dégazage minimal.
- Haute résist. à la corrosion aux gaz fluorés.
- Léger , compact.
- Contamination minimale des métaux lourds.
XLS, à vide élevé Angle Valve, type électromagnétique, balance Soufflet
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- Les particules sont réduites car il n'y a pas de pièces métalliques mobiles
- Le mécanisme d'équilibre de la pression permet un sens d'échappement libre
- Peut être utilisé pour un équipement portable car le système pneumatique n'est pas requis
- Le circuit d'alimentation du contrôle du pilote de l'électrovanne est en standard
XLH, manuel à vide élevé Angle Valve, joint à soufflet
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Vanne coudée pour vide élevé
- Type : manuel, joint de soufflet de protection
- Taille de la bride : 16 ~ 50
- Détection thermique : H1 (80°C), H2 (100°C), H3 (120°C)
- Non compatible avec les détecteurs
XLC, Angle Aluminium à vide élevé Valve, double effet, joint à soufflet
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- La pression d'air appliquée à l'orifice du pilote déplace la vanne à piston
- Les soufflets remplaçables réduisent la maintenance coût et déchets
- Pièces de maintenance supplémentaires disponibles pour prolonger la durée de vie utile de la vanne
- Joints FKM standard, plus 8 options de composé d'étanchéité supplémentaires
- Interrupteurs automatiques montables à partir de 4 directions
- Réchauffeurs 100 & deg; C et 150 & deg; C en option (fil conducteur conforme UL)
XL * Q, à vide élevé Angle Valve, Aluminium monotouche Connection & Release
Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.
- Connexion et relâchement instantanés, ne nécessite aucun outil
- Léger et compact
- Fonction de commutation automatique
- XLAQ: joint à soufflet à simple effet, normalement fermé
- XLAQ: les tailles de bride sont 16, 25, 40, 50
- XLDQ: contrôle en 2 temps, simple effet
- XLDQ: les tailles des brides sont 40, 50
XLJ, Vide Angle Valve w / sortie Valve
XLJ est une série de libération limitée appariement d'un robinet d'équerre à vide avec une vanne de libération. La soupape de décharge permet à la pression atmosphérique d'entrer dans le système entre la pompe et la vanne rotative à vide. Cela empêche l'écoulement d'huile indésirable inverse à travers la pompe. La vanne de vide est un type normalement fermé avec un pilote de vide et de l'arbre de joint torique. Deux tailles brides sont disponibles avec 8 options de tension. XLJ est marqué CE.
- Compatible avec des gaz inertes
- tailles de brides: 25 et 40
- plage de pression de fonctionnement: atmosphérique à 0,01 Pa
- Température de fonctionnement: 5- 40 ° C
- options de tension: (100, 110, 200, 220, 230, 240) ACC; (12, 24) VDC