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Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® SPAN> Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.AZ1000, un seul étage régulateur, à faible débit intermédiaire w / option Bonnet Port
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® SPAN> Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Type de pression d'entrée élevée: max. 3500 psig (24,1MPa)
- Capacité de débit: standard à 30 sipm; HF (option) à 120 sipm
- Matériau du corps: 316L SS
- Hastelloy ® SPAN> internes disponibles pour la résistance à la corrosion
- Applications au niveau du point d'utilisation et du cylindre source LI> UL>
AZ1500, un étage régulateur pour ultra haute pureté, à faible débit (ex aequo membrane)
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® SPAN> Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Type de pression d'entrée élevée: max. 3500 psig (24,1MPa)
- Matériau du corps: 316L SS
- Hastelloy ® SPAN> internes disponibles pour la résistance à la corrosion
- Conception à diaphragme lié LI> UL>
AZ1400T, Régulateur étape unique pour ultra haute pureté, débit intermédiaire (ex aequo diaphragme
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® SPAN> Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Type de pression d'entrée élevée: standard max. 2300 psig (15,9MPa); HR (option): max: 3000 psig (20.7MPa)
- Matériau du corps: 316L SS
- Hastelloy ® SPAN>
- Conception à diaphragme lié
- Option de livraison sous pression atmosphérique LI> UL>
AZ1300, un étage régulateur pour ultra haute pureté, haut débit
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® SPAN> Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Débit jusqu'à 1000 slpm
- Matériau du corps: 316L SS
- Pression d'entrée: max. 300 psig (2,1 MPa) LI> UL>
P>
AZ1200, un étage régulateur, haut débit (ex aequo membrane)
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® SPAN> Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Type de pression d'entrée élevée: Standard max. 1100 MPa (1700 psig); HR (option) max. 3000 psig (20,7 MPa)
- Capacité de débit: standard à 800 slpm; HF (option) à 1000 slpm; FC (opton) à 1500 slpm
- Matériau du corps: 316L SS
- Internes Hastelloy disponibles pour la résistance à la corrosion
- Applications au niveau du point d'utilisation et du cylindre source LI> UL>
AZ9200, un étage régulateur pour ultra haute pureté, haut débit (ex aequo membrane)
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® SPAN> Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Débit jusqu'à 2000 slpm
- Matériau du corps: 316L SS
- Pression d'entrée: max. 300 psig (2,1 MPa) LI> UL>
P>
AZ1100, un seul étage Régulateur de livraison de la pression sous-atmosphérique
Série AZ est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série est disponible en bas pour des capacités élevées d'écoulement, avec certains modèles qui offrent un design lié diaphragme. Les options disponibles incluent Hastelloy ® SPAN> Internes pour la résistance à la corrosion et une connexion raccord de soudure bout de tube.- Pour la livraison de gaz UHP
- Délivrance de pression sub-atmosphérique à faible positive
- Matériau du corps: 316L SS
- Hastelloy ® SPAN> internes disponibles pour la résistance à la corrosion
- Capacité de débit jusqu'à 0.5 slpm LI> UL>
Modèles de produits et CAO
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