XL
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
XL *, à vide élevé Angle Valve, Air Operated
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Léger et compact
- Température de surface uniforme
- Grande résistance du FKM
- Faible dégazage
- Faible pollution par les métaux lourds
XL * V, à vide élevé angle Vannes, pneumatique à w / Electrovanne
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Léger et compact
- Température de surface uniforme
- Grande résistance du FKM
- Faible dégazage
- Faible pollution par les métaux lourds
XLA, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Normally Closed/Bellows Seal
Series XLA-2 are high vacuum angle valves for use in industrial applications employing high vacuum and process gases. Common industries that may use these angle valves include semiconductor, solar and other electronics production, as well as food and pharmaceutical manufacturing. XLA-2 valves are single-acting, normally closed, with a bellows seal over the shaft and spring. The vavle opens when pressure is applied at the pilot port. The bellows assembly can be replaced, reducing maintenance costs and waste materials. The valve body is hard anodized A6063 aluminum, with 304 stainless steel valves and bellows. Numerous seal materials are available for a wide range of chmical compatibility.
- Excellent thermal conductivity offers uniform temperature and decreased gas condensation inside valve
- High corrosion resistance to fluorine gas
- Minimal outgassing
- Minimal contamination from heavy metals
- Optional heaters
- Optional position sensors
- Optional oxalic acid anodizing for internals
XLAV, Aluminum High Vacuum Angle Valves, Air Operated w/Solenoid Valve
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
- Excellent thermal conductivity offers uniform temperature and decreased gas condensation inside valve
- High corrosion resistance to fluorine gas
- Minimal outgassing
- Minimal contamination from heavy metals
- Optional heaters
- Optional position sensors
- Optional oxalic acid anodizing for internals
XLG, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Double Acting, O-ring Seal
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
- Air pressure applied to pilot port shifts piston-coupled valve
- Numerous maintenance parts available to extend useful life of valve
- Standard FKM seals, plus 8 additional seal compound options
- Auto switches mountable from 4 directions
- Optional 100°C and 150°C heaters (UL compliant lead wire)
XLF, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Normally Closed, O-ring Seal
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
XLF is a normally closed, single acting high vacuum angle valve with an O-ring shaft seal. The XL*-2 family shares common features with all series members. Bodies are made of aluminum for light weight and excellent thermal conductivity, resulting in a uniform temperature for the entire valve body. The body offers excellent resistance to fluorine corrosion. A low sputtering yield and the absence of heavy metals avoid wafer contamination.
XLFV, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Normally Closed, O-ring Seal with Solenoid Valve
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
- Excellent thermal conductivity offers uniform temperature and decreased gas condensation inside valve
- High corrosion resistance to fluorine gas
- Minimal outgassing
- Minimal contamination from heavy metals
- Optional heaters
- Optional position sensors
- Optional oxalic acid anodizing for internals
XLC, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Double Acting, Bellows Seal
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
XLS, à vide élevé Angle Valve, type électromagnétique, balance Soufflet
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Les particules sont réduites car il n'y a pas de pièces métalliques mobiles
- Le mécanisme d'équilibre de la pression permet un sens d'échappement libre
- Peut être utilisé pour un équipement portable car le système pneumatique n'est pas requis
- Le circuit d'alimentation du contrôle du pilote de l'électrovanne est en standard
XLH, manuel à vide élevé Angle Valve, joint à soufflet
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Vanne coudée pour vide élevé
- Type : manuel, joint de soufflet de protection
- Taille de la bride : 16 ~ 50
- Détection thermique : H1 (80°C), H2 (100°C), H3 (120°C)
- Non compatible avec les détecteurs
XL * Q, à vide élevé Angle Valve, Aluminium monotouche Connection & Release
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Connexion et relâchement instantanés, ne nécessite aucun outil
- Léger et compact
- Fonction de commutation automatique
- XLAQ: joint à soufflet à simple effet, normalement fermé
- XLAQ: les tailles de bride sont 16, 25, 40, 50
- XLDQ: contrôle en 2 temps, simple effet
- XLDQ: les tailles des brides sont 40, 50
XLJ, Vide Angle Valve w / sortie Valve
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Compatible avec des gaz inertes
- tailles de brides: 25 et 40
- plage de pression de fonctionnement: atmosphérique à 0,01 Pa
- Température de fonctionnement: 5- 40 ° C
- options de tension: (100, 110, 200, 220, 230, 240) ACC; (12, 24) VDC